真空热压炉的安装使用及维护

1．1真空热压炉安装：安装电炉的场所应符合真空卫生的要求，周围的空气应清洁和干燥，并有良好的通风条件，工作场地不易扬起灰尘等。

1．11 检查控制柜中所有部件及配件是否完备、完好。

1．12 控制柜安装在相应的地基上，并固定。

1．13 安照接线图，并参考电气原理图，接通外接主回路及控制回路，并可靠接地，保证接线无误。

1．14 检查电器可动部分应活动自如，无卡死现象。

1．15 绝缘电阻应不低于2兆欧姆。

1．16 真空电炉各阀门必须在关闭位置。

1．17 控制电源开关放在关位。

1．18 手动调压旋钮逆时针旋动头。

1．19 报警钮放在开位。

1．20 按平面图完成设备的循环冷却水联接，建议用户在设备总进出水管处再接入一备用水（可用自来水），防止循环水有故障或断电导致密封圈烧坏。

1．2真空热压炉调试

（1）按设备平面布置图将设备就位，联接好所有的真空管路、阀门，注意机械泵最好与地面固定或四角垫减震橡胶板减震，检查所有的配件是否与发货清单相符。

（2）通知用户完成水、电、的连接，液压油及气泵用户应及时备齐。

（3）将有关的外部设施电源线联接好。上电后检查仪表是否显示、机械泵、液压泵的转向是否正确，热电偶自动进出是否正常，气动阀是否正常工作。    有条件最好先抽一下真空，等第二天可检查是否有漏气。

（4）打开炉盖，将底部保温层放入炉内，然后将桶状保温层放入炉内，调整其高度及对中心，观察炉体周围三个孔的位置是否正确。否则应调整好。

（5）松开三电极，将绝缘材料放入保温层中，放入发热体，将三电极依次插入发热体，紧上石墨螺钉，电极与发热体必须紧密接触，石墨电极与铜电极的螺纹联接部分涂上石墨膏，增加接触面积。放置发热体、保温层等后应测量其与炉壳的绝缘性，短期试一下手动加温（时间不能太长、功率不宜太大）仪表是否正常，无误后放入上层保温盖。液压缸升降是否正常，液压系统冷却水管不要忘记接上，调整压力的正确性，仪表自动调节压力是否正常。

（6）安装完毕后，抽低真空，等水路接通后可试烧一炉，加热手动/自动升温（相电流严禁超过870A），温度不低于1600℃，加热时间不少于4小时，预烧结束后在降温阶段可对扩散泵加热，扩散泵加热时间不能小于45分钟，然后关闭上部的小蝶阀，启动大挡板阀（或大蝶阀），观察真空计的数值变化，此时真空度应很快小于0.1Pa。

注意：如预先要加热的温度超过1800℃，应停用扩散泵，仅用机械泵。最好充保护气氛加热，这样发热体寿命长。

1．3真空热压炉的使用

电炉抽真空：紧闭所有的真空阀门，启动机械泵，待其运转正常后，析开通向炉体的低真空阀，预先对炉体抽气，此阀打开时应缓慢，以免机械泵排气口处有油喷出。

炉体抽真空同时，打开另一低真空阀，对扩散泵抽气，当真空度达到15Pa后，先开启扩散泵上的冷却水，然后对扩散泵加热，一般经过45分钟左右扩散泵起作用，就可关上通向炉体的真空阀，打开大真空阀，真空度很快可以达到1.33×10-1Pa以上，即可对电炉通电加热。

新炉第一次加热因放气较多，真空度容易下跌，另外工件加热放气也使真空下跌，所以要慢慢升温真空度下跌到1.5帕停止加热，等真空度回升到0.5帕以上再慢慢加热。因扩散泵低于20帕就无法工作，另外扩散泵油在太低真空下易氧化，扩散泵就无法作用。也可在低真空下加热除气，等放气基本结束，再开高真空。 另外电炉在不用时抽真空状态下保存，下次抽气快些。

欲停止抽真空，应先关闭高真空阀，然后停止加热，1个半小时后，关闭低真空阀，停止机械泵运转，只有在扩散泵完全冷却之后，才切断其冷却水供应。

1．21通电前，检查各开关放在（关）位，升温方式“手动”，功率调节逆时针旋到头（低端）。

1．22 控制电源开：根据工艺要求顺序来启动机械泵、扩散泵。

1．23 炉内真空度测量 ：根据真空计的操作进行，当达到要求的真空度时，才能加热升温。

1．24 手动升温：在炉温200℃以下先用手动方式升温，否则控温不准。在真空状态下按动加热启动按钮，缓慢调节手动功率调节（顺时针方向），使电流慢慢上升，禁止超过次级额定电流870A，电炉温度随之上升。1000-2200℃，可采用红外自动控制炉温。

1．25 降温可按预先设定的程序控制降温，也可直接把加热关闭让其自行降温。但降温过程中不允许停水，否则炉体密封圈会烧坏。

1．26 电炉外表应经常保持整洁，不用时应保持真空，否则下次使用会导致抽真空效率降低。真空炉及真空系统使用半年左右应对轴向密封部位加注真空密封脂，轴向密封指观察窗挡板座、气动真空蝶阀等部位，自动进出热电偶系统在使用半年后应旋开热电偶座加注扩散泵油。

1．27 真空炉的观察窗玻璃（特别是红外仪用的观察窗）在使用一炉后应卸下清洁，可按附图装拆。

1．28 如在使用中发现机械泵、液压泵按下启动按钮后不能正常转动，一般是电动机过载保护了，可打开控制柜观察热保护器是否过载保护，热保护器示意图见附图，如自动保护了，则按RESET按钮解除。再启动机械泵或液压泵就正常了。

1．29 加压：加压前先检查“升-停-降”拨动开关是否处于停的位置，加压电位器是否旋到最小，无误后启动液压泵。

如手动加压则旋动加压电位器，观察液压指示仪表的数值变化，当所加压力达到时，将“升-停-降”拨动开关拨向升，同时观察位移指示，位移变化很小时，说明上、下冲头己接触物料。液压系统带有水冷，可连续工作。加压结束将“升-停-降”拨动开关拨向降，观察位移指示是否表示油缸己指向底部。关闭液压站的液压泵，将“升-停-降”拨动开关拨向停，加压电位器旋到最小。

如自动加压，则在仪表上设定所需压力，当所需压力及实测压力基本一致后，将“升-停-降”拨动开关拨向升，观察位移及压力变化，等升到位后自动实现保压及稳压功能。加压结束只需将“升-停-降”拨动开关拨向降即可。降到最底后将“升-停-降”拨动开关拨向停。最后关闭液压泵。

由于油缸推动其移动需要一定压力，如购买时用户选择的极限压力过大，会导致油缸直径较粗，则油缸移到压力也就相应大些。故应实际使用的最大压力来选择设备的极限热压压力。