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    真空炉技术资料
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    ZT-50-22Y真空热压炉说明书

    1. 用途

    真空热压炉是用石墨作发热元件的立式真空电阻炉,外有框架式双立柱支承体。下有液压油缸升降为压力源,可供金属化合物、陶瓷、无机化合物、纳米材料等在真空或保护气氛中加热压制产品。

    2. 技术规格

    2.1额定功率:          50KW

    2.2电源电压:          380V

    2.3 加热器电压:        0-33V

    2.4 最高温度:          2200

    2.5 发热区尺寸:       Φ160×200

    2.6 极限真空度:        6.67 ×10-3Pa

    2.7 工作真空度:        6.67×10-2Pa(1600以下)

    2.8 最大压力:           10吨(压力自动调节)

    2.9 最大位移:          120mm

    3. 结构简介

    3.1炉体 为立式炉壳,其内层为1Cr18Ni9做成的园筒,外壳为不锈钢经油漆处理。两层之间形成夹套可以通水冷却,将传到炉壳内壁上的热量带走。内外筒与上下法兰焊成一个整体,中间开有抽气孔、红外测温孔及观察孔等,三相电极从侧部引入,与发热体联接。

    3.2炉体上部是炉盖,它是有内外封头和法兰焊成,中间可通水冷却炉盖,由炉盖升降装置开关炉盖,转开炉盖便于装出工件,炉盖上有压头,压力传感器和压紧装置,炉壳上还装有一热电偶及红外测温仪,热电偶在超过一定温度后会自动退出到保温层。

    3.3炉底部分也是有内外封头和法兰组成,中间通水冷却,固定在炉体下部,,下压头等组成可调节高度装有位移传感器。

    3.4 炉内隔热屏由碳毡、石墨筒及1Cr18Ni9板组成,最内层为石墨,底部隔热屏由石墨组成。

    3.5 液压框架有上模梁、底座、长立柱、炉架等组成,油压油缸装在底座中间,电动通入液压油,通过控制面板上的旋钮可调节压力。转动升降开关可使油缸升降。

    3.6 真空系统

    它是由K-200油扩散泵、2X-15Z直联式机械泵以及真空阀等组成。真空测量粗真空由园形弹簧真空计测量,低真空由热偶真空计,高真空由电离真空计测量。有关真空计的使用请参照真空计使用说明书,注意使用一段时间后,热偶规管会老化,其工作电流需重新标定,标定方法主要为高真空校低真空法。即当电离真空度小于3×10-2Pa时,低真空规管(热偶管)的指针应指向0.1Pa以上,否则应调整其工作电流了

    3.7 电气系统

    调压控制柜上可控硅调压装置由旋动手动调节,也可自动控制, 380V两相电源经过降压变压器,电压降到33V,然后经过电缆再送到电极上。温度控制由进口程序控温仪控制,压力、位移由数显仪表显示,位移传感器为直线位移尺,绝对位移由控制柜上显示仪表指示等。

    3.8 水冷系统

    冷却水由总管进入,经过各支管送到炉壳、炉盖、炉底、电极、上、下压头、扩散泵和机械泵等需要冷却的地方,然后汇总到水箱排出。每路冷却水都有手动阀门,可以按照需要调节流量大小。进水管上设有电接点压力表,当水压低于0.1Mp时,可自动切断加热器。

    4. 安装使用及维护

    4.1 安装:安装电炉的场所应符合真空卫生的要求,周围的空气应清洁和干燥,并有良好的通风条件,工作场地不易扬起灰尘等。

    4.11 检查控制柜中所有部件及配件是否完备、完好。

    4.12 控制柜安装在相应的地基上,并固定。

    4.13 安照接线图,并参考电气原理图,接通外接主回路及控制回路,并可靠接地,保证接线无误。

    4.14 检查电器可动部分应活动自如,无卡死现象。

    4.15 绝缘电阻应不低于2兆欧姆。

    4.16 真空电炉各阀门必须在关闭位置。

    4.17 控制电源开关放在关位。

    4.18 手动调压旋钮逆时针旋动头。

    4.19 报警钮放在开位。

    4.20 按平面图完成设备的循环冷却水联接,建议用户在设备总进出水管处再接入一备用水(可用自来水),防止循环水有故障或断电导致密封圈烧坏。

    4.2 设备调试

    (1)按设备平面布置图将设备就位,联接好所有的真空管路、阀门,注意机械泵最好与地面固定或四角垫减震橡胶板减震,检查所有的配件是否与发货清单相符。

    (2)通知用户完成水、电、的连接,液压油及气泵用户应及时备齐。

    (3)将有关的外部设施电源线联接好。上电后检查仪表是否显示、机械泵、液压泵的转向是否正确,热电偶自动进出是否正常,气动阀是否正常工作。    有条件最好先抽一下真空,等第二天可检查是否有漏气。

    (4)打开炉盖,将底部保温层放入炉内,然后将桶状保温层放入炉内,调整其高度及对中心,观察炉体周围三个孔的位置是否正确。否则应调整好。

    (5)松开三电极,将绝缘材料放入保温层中,放入发热体,将三电极依次插入发热体,紧上石墨螺钉,电极与发热体必须紧密接触,石墨电极与铜电极的螺纹联接部分涂上石墨膏,增加接触面积。放置发热体、保温层等后应测量其与炉壳的绝缘性,短期试一下手动加温(时间不能太长、功率不宜太大)仪表是否正常,无误后放入上层保温盖。液压缸升降是否正常,液压系统冷却水管不要忘记接上,调整压力的正确性,仪表自动调节压力是否正常。

    (6)安装完毕后,抽低真空,等水路接通后可试烧一炉,加热手动/自动升温(相电流严禁超过870A),温度不低于1600,加热时间不少于4小时,预烧结束后在降温阶段可对扩散泵加热,扩散泵加热时间不能小于45分钟,然后关闭上部的小蝶阀,启动大挡板阀(或大蝶阀),观察真空计的数值变化,此时真空度应很快小于0.1Pa。

    注意:如预先要加热的温度超过1800,应停用扩散泵,仅用机械泵。最好充保护气氛加热,这样发热体寿命长。

    4.3使用

    电炉抽真空:紧闭所有的真空阀门,启动机械泵,待其运转正常后,析开通向炉体的低真空阀,预先对炉体抽气,此阀打开时应缓慢,以免机械泵排气口处有油喷出。

    炉体抽真空同时,打开另一低真空阀,对扩散泵抽气,当真空度达到15Pa后,先开启扩散泵上的冷却水,然后对扩散泵加热,一般经过45分钟左右扩散泵起作用,就可关上通向炉体的真空阀,打开大真空阀,真空度很快可以达到1.33×10-1Pa以上,即可对电炉通电加热。

    新炉第一次加热因放气较多,真空度容易下跌,另外工件加热放气也使真空下跌,所以要慢慢升温真空度下跌到1.5帕停止加热,等真空度回升到0.5帕以上再慢慢加热。因扩散泵低于20帕就无法工作,另外扩散泵油在太低真空下易氧化,扩散泵就无法作用。也可在低真空下加热除气,等放气基本结束,再开高真空。 另外电炉在不用时抽真空状态下保存,下次抽气快些。

    欲停止抽真空,应先关闭高真空阀,然后停止加热,1个半小时后,关闭低真空阀,停止机械泵运转,只有在扩散泵完全冷却之后,才切断其冷却水供应。

    4.21通电前,检查各开关放在(关)位,升温方式“手动”,功率调节逆时针旋到头(低端)。

    4.22 控制电源开:根据工艺要求顺序来启动机械泵、扩散泵。

    4.23 炉内真空度测量 :根据真空计的操作进行,当达到要求的真空度时,才能加热升温。

    4.24 手动升温:在炉温200以下先用手动方式升温,否则控温不准。在真空状态下按动加热启动按钮,缓慢调节手动功率调节(顺时针方向),使电流慢慢上升,禁止超过次级额定电流870A,电炉温度随之上升。1000-2200,可采用红外自动控制炉温。

    4.25 降温可按预先设定的程序控制降温,也可直接把加热关闭让其自行降温。但降温过程中不允许停水,否则炉体密封圈会烧坏。

    4.26 电炉外表应经常保持整洁,不用时应保持真空,否则下次使用会导致抽真空效率降低。真空炉及真空系统使用半年左右应对轴向密封部位加注真空密封脂,轴向密封指观察窗挡板座、气动真空蝶阀等部位,自动进出热电偶系统在使用半年后应旋开热电偶座加注扩散泵油。

    4.27 真空炉的观察窗玻璃(特别是红外仪用的观察窗)在使用一炉后应卸下清洁,可按附图装拆。

    4.28 如在使用中发现机械泵、液压泵按下启动按钮后不能正常转动,一般是电动机过载保护了,可打开控制柜观察热保护器是否过载保护,热保护器示意图见附图,如自动保护了,则按RESET按钮解除。再启动机械泵或液压泵就正常了。

    4.29 加压:加压前先检查“升-停-降”拨动开关是否处于停的位置,加压电位器是否旋到最小,无误后启动液压泵。

    如手动加压则旋动加压电位器,观察液压指示仪表的数值变化,当所加压力达到时,将“升-停-降”拨动开关拨向升,同时观察位移指示,位移变化很小时,说明上、下冲头己接触物料。液压系统带有水冷,可连续工作。加压结束将“升-停-降”拨动开关拨向降,观察位移指示是否表示油缸己指向底部。关闭液压站的液压泵,将“升-停-降”拨动开关拨向停,加压电位器旋到最小。

    如自动加压,则在仪表上设定所需压力,当所需压力及实测压力基本一致后,将“升-停-降”拨动开关拨向升,观察位移及压力变化,等升到位后自动实现保压及稳压功能。加压结束只需将“升-停-降”拨动开关拨向降即可。降到最底后将“升-停-降”拨动开关拨向停。最后关闭液压泵。

    由于油缸推动其移动需要一定压力,如购买时用户选择的极限压力过大,会导致油缸直径较粗,则油缸移到压力也就相应大些。故应实际使用的最大压力来选择设备的极限热压压力。

    5.使用中常见故障及排除方法

    常见故障

    可能原因

    排除方法

    备注

    高真空度抽不上但不漏气(指真空表长时间数值不动)。

    1.高真空规管老化

    2.扩散泵油老化

    3.扩散泵加热丝断了(无扩散泵电流)

    1.更换真空规管

    2.更换扩散泵油

    3.更换加热丝

    加注扩散泵油的牌号及数量见扩散泵说明书

    低真空抽不上但不漏气(指真空表长时间数值不动)。

    1. 低真空规管工作电流不正确。

    2. 机械泵油老化

    1. 调整真空规管工作电流。

    2. 更换机械泵油

    热电偶自动进出失灵,报警灯报警

    1. 内、外限位失灵。

    2. 进出电机不转。

    1. 调整或更换内外限位装置。

    2. 测试电机是否己坏,如坏更换同一型号的电机。

    电炉加温前应观察内限位指示灯是否亮,应亮着。

    使用一段时间后温度升不上去

    加热器电阻值变大。

    1. 根据仪表说明书调大仪表输出功率。

    2. 严重老化只能更换新的加热器

    控制柜面板上的过流指示灯亮着并报警。

    加热器有短路

    1.打开炉盖观察加热器是否有短路,排除故障。

    超温报警灯亮着并报警

    1. 炉温超温

    2. 仪表设定有误

    按说明书重设超温报警参数

    断水指示灯亮着并报警

    1. 没打开水阀

    2. 水压过低

    1. 打开水阀

    2. 调高水压

    以上是常见故障,当然有些故障在控制柜面板上分类报警灯己提供指示。如自行不能排请联系我们。

    6. 特别提醒

    6.1由于模具一般由用户自备,模具材料基本上选用高纯石墨,其耐压极限为40MPa,建议用户使用在30MPa以下比较安全,加压前应计算模具上、下冲头的面积,再换算成压力,具体公式如下:

    系统允许加压(吨)=上或下冲头面积×30MPa

    如预先不计算盲目加压导致模具、压块、发热体、保温屏等石墨制品损坏,本公司概不负责。

    6.2热电偶为钨铼型,使用过会发脆,不能接触。如损坏应及时更换。其型号是W2型。

    6.3冬天应注意循环水的保暖问题,否则易发生水管爆裂。

    6.4使用后炉体应保持真空,因炉内保温层易受潮,保真空这样下次抽真空会快些。

    6. 5本设备是较复杂,建议专人使用,专人负责,对新手严格实行用前培训,用后检查,操作使用要有记录等设备使用规定。

    6.6 本热压炉也可当作真空烧结炉使用,用于真空烧结炉时注意,在炉内放置坩埚后,在盖上保温屏盖后不要忘记再盖其中间的小盖。否则易烧损电炉。


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